产品描述
产品特点：
• 检测同时支（zhī）持线宽测量（liàng）及套刻（kè）测量（liàng）三合一。
• 表（biǎo）面缺陷检（jiǎn）测（cè）能力可达（dá） 0.3um。
• 自动检测无需人工，单机（jī）缺陷检测模式。
• 灵活高效多种（zhǒng）方式的缺陷和自动缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检测，及自定义区域检测。
• 高精度线宽量及套刻（kè）尺寸测量系（xì）统（tǒng）。
• 自动脚本（běn）编程能力（lì）和自动化运（yùn）行（háng）。
• 自带（dài）自动检（jiǎn）测料盒（hé）功能，自（zì）带 Mapping 功（gōng）能，可双面检测。
• 晶圆机（jī）械（xiè）手（shǒu）完成设备（bèi）内的晶圆片运转（zhuǎn）；JEL/ 首镭（léi）自（zì）主机械手。
产品应用领域（yù）：
全自动晶圆外观检查机主要是（shì）适用于晶圆外观缺陷（xiàn）的检测设（shè）备，以提（tí）高客户生（shēng）产效率；适（shì）用于 4inch，6inch，8inch 晶圆（yuán）。
相（xiàng）关产品
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