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晶(jīng)圆ID激(jī)光(guāng)标刻设备
全(quán)自动晶圆(yuán)激光标(biāo)刻机主要是对(duì)各种(zhǒng)硅晶圆、蓝宝石玻璃晶圆、SiC 晶圆进(jìn)行精密(mì) ID 标(biāo)记;适用(yòng)于 4inch,6inc,8inc 晶圆。
产品描述
产品特(tè)点:
• 料(liào)盒(hé)上下料方式,取料(liào),打标,放料回原位。
• 全自动上下(xià)料,视觉(jiào)或者自动寻边(biān)机(jī)构定位,加工效率高。
• 设备(bèi)体积微小,使用方便。
• 自带(dài)自动检测料盒(hé)功能,自主(zhǔ)计数 Mapping 功能,可双面打标。
• 晶圆机(jī)械(xiè)手完(wán)成(chéng)设备内的晶圆(yuán)片运转;JEL/ 首镭自主(zhǔ)机械手(shǒu)。
产(chǎn)品应用(yòng)领域:
全自(zì)动晶圆(yuán)激光标刻机主要(yào)是对各种硅晶圆(yuán)、蓝宝石(shí)玻(bō)璃晶圆、SiC 晶圆进(jìn)行精密 ID 标记;适(shì)用于 4inch,6inc,8inc 晶圆。
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