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碳化硅（guī）晶圆ID激（jī）光标刻（kè）设备（bèi）
全自（zì）动晶圆激光（guāng）标刻机主要（yào）是对各种（zhǒng）外延硅晶圆片、先进封装复合晶圆、SIC晶圆进行精（jīng）密（mì）标记；适用（yòng）于6inch,8inch,12inch晶圆（yuán）打码
产品（pǐn）描述
产品特点：
• 专业料盒上下料，机械（xiè）手取（qǔ）料、打标、放料回原位（wèi）
• 全自动（dòng）运行，视觉自动寻边定位机构，加（jiā）工效率高（gāo）
• 自动检测（cè）料盒（hé）有无（wú）产品，机（jī）械手自带（dài）Mapping功能，可选择双面打标
• 晶圆机械手完成设（shè）备内的晶圆（yuán）片运（yùn）转，JEL专（zhuān）用晶（jīng）圆机械手
• 标配99.995%0.3um过（guò）滤的FFU，有（yǒu）效保障机内（nèi）洁（jié）净度
产品应（yīng）用（yòng）领域：
全自动晶圆（yuán）激光标刻机（jī）主（zhǔ）要（yào）是对各种外延硅晶圆（yuán）片、先进封装复合晶圆、SIC晶（jīng）圆进行（háng）精密标记；适用于6inch,8inch,12inch晶圆打码
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