全国统（tǒng）一服（fú）务（wù）热（rè）线（xiàn）:
产品（pǐn）描（miáo）述（shù）
产品（pǐn）特（tè）点：
• 检测同时支持线宽测量及套刻测量三（sān）合一。
• 表面缺陷检测（cè）能力可（kě）达0.3um。
• 自动检测无需人工,单机（jī）缺陷检（jiǎn）测模式。
• 灵活（huó）高效（xiào）多种方式的缺陷和自动（dòng）缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检（jiǎn）测,及（jí）自定义区域（yù）检测。
• 高（gāo）精度线（xiàn）宽量及套刻尺寸测量系统。
• 自动（dòng）脚本编程能力（lì）和自动化运（yùn）行。
• 自带自动检（jiǎn）测料盒功能,自带 Mapping功（gōng）能,可（kě）双面检测。
• 晶圆机械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/首镭自主机械手。
产品应用领（lǐng）域：
全（quán）自动晶圆外观（guān）检查机主要是适（shì）用（yòng）于晶圆（yuán）外（wài）观缺陷的检测设备，以提高客户生产（chǎn）效率;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。
产品参数（shù）
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激光类（lèi）型配置 |
设备（bèi）型（xíng）号SL-WOV1020 |
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适用晶圆（yuán） |
4寸.6寸.8寸 |
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线扫相机（jī）+激光测量（liàng）仪 |
16K线（xiàn）扫相机（jī）+激光测量（liàng）仪：幅宽6mm扫描间隔（gé）lum-10um; |
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相机镜头 |
镜头WD:49mm FOV:360mm图（tú）像分辨率：2lum |
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线（xiàn）扫同轴光源 |
发光区（qū）域340mm*40mm |
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线扫线光源 |
组合光源；线光源（yuán）2组；发光区域340mm*20mm |
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检测类（lèi）型（xíng） |
外（wài）观（guān）不（bú）良；尺（chǐ）寸、厚度测量（liàng） |
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产品（pǐn）上（shàng）下料方式 |
Open cassette; |
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产品传送方式（shì） |
日（rì）本JEL晶圆（yuán）ROBOT+Mapping功能（néng） |
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晶圆载台 |
X.Y.Z.R载台：形成6.5mm;粗（cū）调（diào）360°、微（wēi）调±5°、最小行程5um |
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晶圆平移（yí）模组（zǔ） |
行程350mm'重复精度（dù）±20um |
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软件 |
首（shǒu）镭（léi）专用晶圆外观检查软件（jiàn）系（xì）统； |
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OCR读取 |
视觉识别(可选配（pèi）) |
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FFU |
双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh |
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系统对（duì）接 |
MES与（yǔ）EAP(具备TCP/IP;支持SECS-GEM通讯标准) |
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设（shè）备尺寸（cùn） |
L:1700mm*W:1350mm*H:1900mm |
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